特許
J-GLOBAL ID：200903056860728657
マイクロ波励起型紫外ランプ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-260381
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062649
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 真空紫外光であっても、高効率で発生させることができ、かつ、容易に外部へ導出して所望部に供給することのできるマイクロ波励起型紫外ランプ装置を提供する。【構成】 マイクロ波共振器1は、中空円筒状に形成された金属製の外筒2と、この外筒2と同軸的に設けられた金属製の内筒3とから構成されている。外筒2の底部には、誘電体4によって気密に隔離された放電部5が設けられており、この放電部5内には、所定のランプガス、例えば、希ガス、ハロゲンガス、希ガスとハロゲンガスの混合ガス等が充填される。また、この放電部5と隣接する外筒2の底板6には、真空紫外光に対して透過性の高い材料からなる平板7が設けられた窓8が配設されており、この窓8には金属メッシュ9が設けられている。
請求項（抜粋）：
中空構造の外筒と、この外筒内に突出する如く同軸的に設けられた内筒とを有するマイクロ波共振器と、前記マイクロ波共振器内の前記外筒底部または前記内筒底部に隣接して設けられ、内部に所定のランプガスが充填された放電部と、前記放電部に隣接する前記外筒底部または前記内筒底部に設けられ、前記放電部内で発生した光を導出するための窓とを具備したことを特徴とするマイクロ波励起型紫外ランプ装置。
引用特許：
前のページに戻る
