特許

J-GLOBAL ID：200903056863630747

微細回路加工用透明導電性フィルム

発明者： 工藤 政尚 ,  長野 日子一 ,  山口 重次 ,  三宅 英男
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106922
公開番号（公開出願番号）：特開平6-322164
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】 線幅100μm以下の微細回路パターンを波長1064nmのYAGレーザにより安価にしかも速い速度で精度良く加工しうる。【構成】 微細回路加工用透明導電性フィルムは、ポリエチレンテレフタレートフィルムよりなる透明プラスチックフィルムの片面の表面粗さが、三次元中心線平均粗さ(SRa)で0.05μmであり、この片面にインジュウム錫酸化物よりなる透明導電性薄膜が形成されているものである。

請求項（抜粋）：

透明プラスチックフィルムの片面の表面粗さが、三次元中心線平均粗さ(SRa)で0.05μm以下であり、この片面に透明導電性薄膜が形成されている微細回路加工用透明導電性フィルム。

IPC (8件)：

C08J 7/06 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  B32B 27/36 ,  C08J 7/00 304 ,  H05K 1/02 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平4-031030
  
• 特開昭63-046236
  
• 特開昭61-233531
  
• 特開平2-259727
  

審査官引用 (4件)

• 特開平4-031030
  
• 特開昭63-046236
  
• 特開昭61-233531
  
• 特開平2-259727