特許

J-GLOBAL ID：200903056867709526

ガラス乾板の搬送方法

発明者： 山本 祐一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205817
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051498
出願日： 1992年08月03日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 本発明は,ガラス乾板のキャリアによる搬送方法に関し, ガラス乾板搬送時の発塵を防ぐための手段を得ることを目的とする。【構成】 レジスト膜2を塗布したガラス乾板1の外周面に溝3を設け,一方,ガラス乾板1搬送用のキャリア4内壁に, ガラス乾板1の溝3に対応した突起5を設けて, ガラス乾板1の搬送時には, ガラス乾板1の溝3をキャリア4の突起5に嵌め込んで搬送するように,或いは,レジスト膜2を塗布したガラス乾板1の外周面に突起6を設け,一方, ガラス乾板1搬送用のキャリア4内壁に, ガラス乾板1の突起6に対応した溝7を設けて, ガラス乾板1の搬送時には, ガラス乾板1の突起6をキャリア4の溝7に嵌め込んで搬送するように構成する。

請求項（抜粋）：

レジスト膜(2) を塗布したガラス乾板(1) の外周面に溝(3)を設け,一方, 該ガラス乾板(1) 搬送用のキャリア(4) 内壁に, 該ガラス乾板(1) の該溝(3) に対応した突起(5) を設けて, 該ガラス乾板(1) の搬送時には,該ガラス乾板(1) の該溝(3) を該キャリア(4) の該突起(5) に嵌め込んで搬送することを特徴とするガラス乾板の搬送方法。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38