特許
J-GLOBAL ID:200903056868131501

対物レンズ駆動装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松村 博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-164025
公開番号(公開出願番号):特開平9-016991
出願日: 1995年06月29日
公開日(公表日): 1997年01月17日
要約:
【要約】【目的】 対物レンズのレンズホルダを支持する金属線の振動を安定して抑制し、かつコストの低減を図る。【構成】 サスホルダ16内で金属線15a〜15dの周りを囲む粘弾性材として、金属線が挿通された孔部31の、金属線の変位が小さい支持基板18側には粘弾性の低い粘弾性材25を、変位の大きいレンズホルダ側には粘弾性の高い粘弾性材26をそれぞれ充填する。各粘弾性材毎に紫外線硬化するので、硬化時の粘弾性材の厚みが小さくなり、硬化のバラツキがなくなる。粘弾性材25の部分は空隙にしてもよく、粘弾性材の使用量を減少させてコスト低減を図る。
請求項(抜粋):
対物レンズを保持するレンズホルダと、一端がそれぞれ支持基板に固着され、他端がそれぞれ前記レンズホルダに固着されて、前記レンズホルダを弾性的に支持する複数の金属線と、前記支持基板に接して設けられ前記金属線の一端付近を粘弾性材で囲んで前記金属線の振動を抑制するサスホルダとを備え、前記サスホルダは、前記金属線が挿通された孔部の、前記金属線の変位が小さい前記支持基板側には粘弾性の低い粘弾性材が、変位の大きい前記レンズホルダ側には粘弾性の高い粘弾性材がそれぞれ充填されていることを特徴とする対物レンズ駆動装置。

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