作業用回転テーブル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松村修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143468
公開番号（公開出願番号）：特開平5-309577
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】[目的] 多種のワークのクリーニングと各種の作業とを並行して行なうことができるとともに、高い汎用性と柔軟性を有し、モータ駆動の作業用回転テーブルを提供することを目的とする。[構成] 任意の割出し機能とワーク取付け用アダプタユニット13と、3方向からのイオンブロークリーニングを行なうための3つのイオンブロークリーニングユニット16〜18とを有し、各種のワークのクリーニング、下加工や前加工等の作業を瞬時に切換えることを可能にした作業用回転テーブル10に関するものである。

請求項（抜粋）：

回転方向に沿って間欠的に回転させながらそれぞれの位置で所定の作業を行なうようにした作業用回転テーブルにおいて、任意の角度で割出しを行なう割出し手段と、任意の形状のワークを取付けるためのアダプタと、イオン化クリーニング手段と、前記インオ化クリーニング手段によるクリーニングの排気を行なう集中排気手段とを有する作業用回転テーブル。

IPC (5件)：

B25H 1/00 , B08B 5/00 , B25H 1/08 , B25H 1/14 , H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-178172
特公昭55-047952
特開昭61-178172

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