特許

J-GLOBAL ID：200903056888098870

カラーフィルター検査装置及びそれを用いたカラーフィルター検査方法

発明者： 谷内 洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101713
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルターを構成する複数の色フィルターの光学特性を精度良く検査することができるカラーフィルター検査装置及びそれを用いたカラーフィルター検査方法を得ること。【解決手段】 透明基板上に同じパターン形状で複数の色光の色フィルターを規則的に配列したカラーフィルターと、該複数の色光の色フィルターのうち単色の色フィルターに相当する領域に開口部を設けた遮光マスクと、該単色の色フィルターの補色関係となる補色フィルターと、該遮光マスクの開口部と、該色フィルターそして補色フィルターに白色光を放射するバックライトとを利用して該複数の色光の色フィルターを検査していること。

請求項（抜粋）：

透明基板上に同じパターン形状で複数の色光の色フィルターを規則的に配列したカラーフィルターと、該複数の色光の色フィルターのうち単色の色フィルターに相当する領域に開口部を設けた遮光マスクと、該単色の色フィルターの補色関係となる補色フィルターと、該遮光マスクの開口部と、該色フィルターそして補色フィルターに白色光を放射するバックライトとを利用して該複数の色光の色フィルターを検査していることを特徴とするカラーフィルター検査装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G02B 5/20 101

FI (2件)：

G01M 11/00 T ,  G02B 5/20 101