特許
J-GLOBAL ID：200903056900430753
検査装置及び検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150947
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014848
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 BGAのボールの検査をより精度良くなし得る検査装置を提供する。【構成】 投光部3からX-Yテーブル部2上のトレイ1に載置されたBGAのボールに投光し、撮像部4でボールを撮像して、得られた撮像パターンの形状から、BGAのボールの良否を判定するとともに、ボールの中心位置を求め、形状判定良好なBGAを搬送部8により検査テーブル部5まで搬送し、高さ計測部6でボールの高さを計測して、高さによりボールの良否判定を行う。
請求項（抜粋）：
表面より突出した鏡面反射をする球面状の対象物の品質を自動検査するための検査装置であって、対象物に光を投射する投光手段と、対象物で反射された光を受光する受光手段と、受光信号より、対象物の状態を検査する検査手段と、対象物の中心位置を算出する中心位置算出手段と、対象物の中心位置での対象物の高さを計測する高さ計測手段と、を備えてなる検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H05K 3/34 512
