集積型表面プラズモン共鳴センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265220
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075337
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】測定精度が良く、複数の試料を効率よく高精度に計測可能な微細光学素子を有する集積型表面プラズモン共鳴センサを提供すること。【解決手段】本発明の集積型表面プラズモン共鳴センサは、微細光学素子から出射されるレーザ光を回折格子を介して透明基板内に入射させると共に金属薄膜の試料搭載領域に照射し、回折格子に隣接する他の回折格子を介して透明基板から出射される反射光の強度を微細光学素子で検出することにより、透明基板とシリコン基板とを相対移動させながら、複数の試料における生化学反応の発生の有無を順次分析できる。

請求項（抜粋）：

生化学反応測定用の複数の試料を搭載する金属薄膜と、第1面に前記金属薄膜が形成され、第2面に回折格子が形成される平行平板状の透明基板と、前記透明基板を搭載すると共に、搭載面に微細光学素子を有するシリコン基板とを備え、前記微細光学素子から出射されるレーザ光を前記回折格子を介して前記透明基板内に入射させると共に前記金属薄膜の試料搭載領域に照射し、前記回折格子に隣接する他の回折格子を介して前記透明基板から出射される反射光の強度を前記微細光学素子で検出することにより、前記透明基板と前記シリコン基板とを相対移動させながら、前記複数の試料における生化学反応の発生の有無を順次分析できることを特徴とする集積型表面プラズモン共鳴センサ。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01N 33/543 595

FI (2件)：

G01N 21/27 C , G01N 33/543 595

Fターム (13件)：

2G059AA01 , 2G059BB04 , 2G059BB12 , 2G059CC16 , 2G059EE02 , 2G059FF11 , 2G059FF12 , 2G059GG01 , 2G059JJ05 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059KK01 , 2G059PP01

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