特許
J-GLOBAL ID：200903056931140460
整列確認装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094082
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280824
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】2つの部品の位置ずれを確認するときに、2つの部品の像が明確に区別できる整列確認装置を提供する。【解決手段】互いに対向した2つの部品が互いに整列された状態にあるか否かを確認するための整列確認装置であって、2つの部品の間に挿入され、2つの部品に夫々異なった色の照明光を照射するための光源73,74と、2つの部品からの異なる色の反射光を受光するためのビームスプリッタ12と、ビームスプリッタ12に入射した2つの部品からの反射光を同一位置に結像させるための第1の光学系30,32,36,38,42と、同一位置に結像された2つの部品からの反射光を受光して、2つの部品の像が重畳された画像信号を生成するための撮像素子44とを具備する。
請求項（抜粋）：
互いに対向した2つの部品が互いに整列された状態にあるか否かを確認するための整列確認装置であって、前記2つの部品の間に挿入され、前記2つの部品に夫々異なった色の照明光を照射するための照射手段と、前記2つの部品からの異なる色の反射光を受光するための光学部材と、該光学部材に入射した前記2つの部品からの反射光を同一位置に結像させるための第1の光学系と、前記同一位置に結像された前記2つの部品からの反射光を受光して、前記2つの部品の像が重畳された画像信号を生成するための撮像素子とを具備することを特徴とする整列確認装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00
, H01L 21/60 311
G01B 11/00 H
, H01L 21/60 311 Z
