特許

J-GLOBAL ID：200903056937251247

光学多層膜及び干渉フィルタ

発明者： 清本 浩伸 ,  細川 速美 ,  冨田 公平 ,  安田 成留
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164952
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020313
出願日： 1993年07月05日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 干渉フィルタなどに設けられた光学多層膜の光学特性を、水分などの影響を受けずに安定させる。【構成】 基板1上に複数種類の物質の薄膜層2を積層した構成して光学多層膜3を設け、最外層の薄膜層21を水分に対して安定したHfO2 で形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に複数種類の物質の薄膜層が積層されてなる光学多層膜において、前記基板から最も離れた薄膜層を、Tiの酸化物を主成分とする物資以外の物質で形成したことを特徴とする光学多層膜。