特許
J-GLOBAL ID:200903056942473720

多孔質膜およびその生成装置と生成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松島 理
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-045546
公開番号(公開出願番号):特開2005-232555
出願日: 2004年02月23日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】この発明は、反応速度が高く、安全で取り扱いやすいという液中プラズマの特性を生かしながら、しかも、多孔質であって高い断熱性により、熱膨張の影響を受けにくく、優れた耐熱性が実現できる多孔質膜およびその生成装置と生成方法を提供することを目的とする。【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明に係る多孔質膜生成装置1は、膜を形成する物質を含む原料液体3を保持するための容器2と、膜中に空孔を生じさせる物質を供給するための空孔形成物供給手段7と、液体中に電磁波を照射するための電磁波照射手段5と、液体中で基板6を保持する基板取り付け部とを有するものである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
膜を形成する物質を含む原料液体を保持するための容器と、膜中に空孔を生じさせる物質を供給するための空孔形成物供給手段と、液体中に電磁波を照射するための電磁波照射手段と、液体中で基板を保持する基板取り付け部とを有する多孔質膜生成装置。
IPC (2件):
C23C26/00 ,  H05H1/24
FI (2件):
C23C26/00 E ,  H05H1/24
Fターム (9件):
3G002EA05 ,  3G002EA08 ,  4K044AA01 ,  4K044BA18 ,  4K044BA19 ,  4K044BB13 ,  4K044BC11 ,  4K044CA41 ,  4K044CA62
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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