特許
J-GLOBAL ID：200903056945669234
加速度検出用混成集積回路装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289817
公開番号（公開出願番号）：特開平9-135032
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 歩留まりと品質の高い加速度検出用混成集積装置を提供する。【解決手段】 導電性の半田バンプ電極8を介して厚膜基板1の上に半導体歪みセンサ素子2が取り付けられる。半導体歪みセンサ素子2は質量保持部2b、ピエゾ抵抗層が設けられる加速度感知部2a、半田バンプ電極8上に固定される基端部2c、及びバランス保持部2dから成る。半導体歪みセンサ素子2からの電気信号は半田バンプ電極8を介して厚膜基板1に設けられるパターン配線7に接続される。厚膜基板1と質量保持部2bとの間隔Wは半田バンプ電極8によって決定される。以上のように構成される加速度検出用混成集積回路装置100に加速度が印加された場合、加速度感知部2a及び質量保持部2b、ならびにバランス保持部2dはそれぞれ異なる固有の振動モードにて半田バンプ電極8上方においてアンバランスに、互いに影響を及ぼし合いながら振動する。
請求項（抜粋）：
順に積層される基板、支持台座及び検出手段とを含んで成り、該検出手段には加速度検出部が備えられる加速度検出用混成集積回路装置において、前記検出手段が順に連なる第1乃至第4部分から成り、前記第2部分は前記第1、第3及び第4部分に比べて薄肉であり、前記第3部分が前記支持台座に固定され、前記第4部分が前記第1及び第2部分とバランスすることを特徴とする加速度検出用混成集積回路装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 A
, G01P 15/12
