特許

J-GLOBAL ID：200903056947295137

非偏光ビームスプリッター

発明者： 伊藤 拓
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-093330
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308305
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 反射光、透過光の分割比を等しくし、光学設計上の自由度を広げたビームスプリッターを提供すること。【構成】 1.50≦n≦1.55、k=0の物質から成るプリズムの形の基板12の斜面に、それぞれ特定の光学定数を有する物質から成る特定の光学的膜厚の層1〜9を9層組み合わせて積層した多層膜を設け、これを1.90≦n≦1.96、k=0の物質から成る入射媒質11であるプリズムと接合して成るビームスプリッター。

請求項（抜粋）：

基板側から第1層目が1.62≦n≦1.64(但し、nは使用波長λ0 =550nmにおける屈折率を示す)、k=0(但し、kは消衰係数を示す)の物質から成り、光学的膜厚ndが0.436λ0 ≦nd≦0.438λ0 である層であり、第2層目が2.02≦n≦2.08、k=0の物質から成り、光学的膜厚が0.654λ0 ≦nd≦0.656λ0 である層であり、第3層目が1.47≦n≦1.50、k=0の物質から成り、光学的膜厚が0.791λ0 ≦nd≦0.793λ0 である層であり、第4層目が1.37≦n≦1.39、k=0の物質から成り、光学的膜厚が0.896λ0 ≦nd≦0.898λ0 である層であり、第5層目が1.62≦n≦1.64、k=0の物質から成り、光学的膜厚が0.453λ0 ≦nd≦0.455λ0 である層であり、第6層目が2.02≦n≦2.08、k=0の物質から成り、光学的膜厚が0.645λ0 ≦nd≦0.647λ0 である層であり、第7層目が1.47≦n≦1.50、k=0の物質から成り、光学的膜厚が0.429λ0 ≦nd≦0.431λ0 である層であり、第8層目が1.37≦n≦1.39、k=0の物質から成り、光学的膜厚が1.258λ0 ≦nd≦1.260λ0 である層であり、第9層目が1.47≦n≦1.50、k=0の物質から成り、光学的膜厚が1.815λ0 ≦nd≦1.817λ0 である層であり、かつ、入射媒質が1.90≦n≦1.96、k=0の物質から成るプリズムであり、基板が1.50≦n≦1.55、k=0の物質から成るプリズムであることを特徴とする非偏光ビームスプリッター。