特許

J-GLOBAL ID：200903056950224518

非機能化したポリ(アリーレンエーテル)誘電材料

発明者： ウィリアム フラクリン バーゴイン,ジュニア ,  ロイド マーロン ロべソン ,  レイモンド ニコラス ブルティス
出願人/特許権者： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184973
公開番号（公開出願番号）：特開平9-202823
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 集積回路のようなマイクロ電子デバイスに配置して低誘電率の材料として使用可能な非機能化ポリ(アリーレンエーテル)ポリマーの誘電材料を提供する。【解決手段】 本発明の誘電材料は、次の構造【化1】(式中のm=0〜1.0、n=1.0-mであり、Ar1 、Ar2 、Ar3 及びAr4 はそれぞれ、明細書中に具体的に記載された二価のアリーレン基であって、但しジラジカルの9,9-ジフェニルフルオレン以外のAr1 、Ar2 、Ar3 及びAr4 は異性の同等基でないものとする)の繰返し単位を含むポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを含む。

請求項（抜粋）：

マイクロ電子デバイス上に配置されており、次の構造【化1】(この式において、m=0〜1.0、n=1.0-mであり、Ar1 、Ar2 、Ar3 及びAr4 はそれぞれ二価のアリーレン基である)の繰返し単位を含むポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを含む誘電材料。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-165596