特許
J-GLOBAL ID：200903056953101557
導電性薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247612
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103817
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【構成】導電性薄膜3は、伝導キャリア濃度の高い層1と伝導キャリア濃度の低い層2によって構成され、かつ、伝導キャリア濃度の高い層の厚さを20nm以下とした。【効果】200°C以下で通常では十分な移動度を得られない条件下でも、二次元電子ガスの効果により高い移動度が得られ、1×10-4Ωcmの比抵抗を示す導電性薄膜を、可視光域での透過率を損なわずに形成することができる。
請求項（抜粋）：
1種類以上のカチオン及び酸素から成り、可視域の光に対し85%以上の透過率をもち、かつ、導電性を有する薄膜において、キャリア濃度の異なる複数の層からなることを特徴とする導電性薄膜。
IPC (2件)：
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