特許
J-GLOBAL ID:200903056956035830

圧力変換器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤島 洋一郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-149313
公開番号(公開出願番号):特開平6-213752
出願日: 1992年06月09日
公開日(公表日): 1994年08月05日
要約:
【要約】【目的】 押圧蓋と押圧蓋嵌合部との嵌合によって生じる押圧力の不均一さを吸収し、センサに余分な歪応力を加えることがなく、オフセット電圧を低減できるようにする。【構成】 半導体圧力センサ13と押圧蓋23との間には、スペーサ27とラバー28が挟み込まれている。スペーサ27の上面および下面には、流体管11の溝部17に対応させて凸部24が設けられている。この凸部24が押圧蓋23の押圧蓋嵌合部22への嵌合に伴い半導体圧力センサ13とOリング18との間にそれぞれ適度な強さの押圧力を与える。押圧蓋23に接着され、押圧蓋23とスペーサ27との間に挟み込まれるラバー28は、その柔軟性により不均一な力を吸収し、半導体圧力センサ13に均一に押圧力を与える働きをする。
請求項(抜粋):
側壁に圧力検出孔を有するとともに、この圧力検出孔の周囲に突出した押圧蓋嵌合部を有する流体管と、受圧面を前記圧力検出孔内に臨ませて前記押圧蓋嵌合部内に配設された半導体圧力センサと、前記押圧蓋嵌合部内に配設され、前記半導体圧力センサの出力信号を取り出すフレキシブルプリント基板と、前記押圧蓋嵌合部に嵌合され、スペーサを介して前記半導体圧力センサを前記流体管の外側壁面に押圧する押圧蓋と、この押圧蓋と前記スペーサとの間に介在し、前記押圧蓋の嵌合により生ずる押圧力の不均一状態を吸収する板状弾性部材とを備えたことを特徴とする圧力変換器。
IPC (3件):
G01L 19/06 ,  A61B 5/00 101 ,  G01L 9/04 101

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