電子線描画装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278182
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130597
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】この発明は、電子線の偏向方向の位置精度を確実なものとすることができ、描画パターンの高精度化が図れることを目的とする。【構成】この発明は、偏向方向の位置精度を測定し、それをもとに、補正データ(電圧波形)を作り出し、補正データを用いて描画し、パターンの位置精度を向上させるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

被加工物を載置したステージに対して電子線を照射することにより描画を行うラスタスキャンタイプの電子線描画装置において、偏向スキャン方向の位置ずれの非線形成分を測定する測定手段と、この測定手段により測定された非線形成分を偏向スキャン電圧波形の歪としてとらえ、それを打ち消す非線形電圧を作成する作成手段と、この作成手段により作成された非線形電圧を上記偏向スキャン電圧に加算することにより、偏向スキャン方向の非線形成分を打ち消す処理手段と、を具備したことを特徴とする電子線描画装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-061256
特開昭56-124234
特開昭62-061256

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