特許

J-GLOBAL ID：200903056970365061

ウエハ搬送アーム

発明者： 荒木 佳則 ,  佐々木 彰 ,  佐藤 賢市 ,  道源 鉄也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087023
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291375
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ搬送アームの帯電による半導体ウエハの誤搬送を防止する。また、ウエハ搬送アームとの接触による半導体ウエハの汚染を低減する。【構成】 ウエハ保持部3の周辺部に半導体ウエハ2の外周部を支持する段差部7を設け、ウエハ搬送アーム1と半導体ウエハ2との接触面積を少なくしたウエハ搬送アーム1である。また、ウエハ保持部3に開孔8を設け、半導体ウエハ2との接触面積を少なくしたウエハ搬送アーム1である。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハを水平に保持するウエハ保持部を備え、前記ウエハ保持部と半導体ウエハとが重なり合う領域の一部に1個または複数個の開孔を設けたことを特徴とするウエハ搬送アーム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  B65H 5/04