特許

J-GLOBAL ID：200903056970944169

封止樹脂硬化体の再生方法及びその装置

発明者： 佐藤 勝彦 ,  日朝 俊尚 ,  浜野 貴信
出願人/特許権者： 日本磁力選鉱株式会社 ,  住友ベークライト株式会社
代理人 (1件)： 中前 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023512
公開番号（公開出願番号）：特開平8-198614
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】 樹脂封止で生じた端材から有害物質の発生を抑制しつつアンチモン、溶融シリカ等を高純度で分離、回収する封止樹脂硬化体の再生方法及びその装置を提供する。【構成】 封止樹脂硬化体10を500〜1200°Cで酸化燃焼して溶融シリカを回収し、発生した燃焼排ガスを800°C以上で2秒以上保持し、燃焼排ガス中の臭素を含む未燃カーボン及び未分解炭化水素を燃焼させて含まれている臭素を臭素ガス、臭化水素及び三臭化アンチモンガスとし、そこで生じる再燃排ガスを水噴霧により、670°C以下で100°Cを越える温度に急冷して含まれる酸化アンチモンを固粉化すると共に、三臭化アンチモンを加水分解し、それぞれの酸化アンチモンを集塵して回収し、集塵した後の集塵排ガスに含まれる臭化水素にアルカリ金属、アルカリ土類金属の水酸化物を接触、反応させて臭化塩を生成した後、臭化塩を回収する封止樹脂硬化体の再生方法及びその装置。

請求項（抜粋）：

溶融シリカ及び三酸化二アンチモンを含む臭素系エポキシ樹脂からなる半導体用の封止樹脂硬化体から、溶融シリカ、アンチモン及び臭素を回収する封止樹脂硬化体の再生方法であって、前記封止樹脂硬化体を500〜1200°Cで酸化燃焼して前記溶融シリカを回収する第1工程と、前記第1工程で発生した燃焼排ガスを800°C以上で2秒以上保持し、該燃焼排ガス中の臭素を含む未燃カーボン及び未分解炭化水素を燃焼させて含まれている臭素を臭素ガス、臭化水素及び三臭化アンチモンガスとする第2工程と、前記第2工程で生じる再燃排ガスを水噴霧により、670°C以下で100°Cを越える温度に急冷して含まれる酸化アンチモンを固粉化すると共に、前記三臭化アンチモンを加水分解して酸化アンチモンとし、それぞれの前記酸化アンチモンを集塵して回収する第3工程と、前記第3工程で集塵した後の集塵排ガスに含まれる臭化水素にアルカリ金属水酸化物、アルカリ土類金属水酸化物を接触、反応させて臭化塩を生成した後、該臭化塩を回収する第4工程からなることを特徴とする封止樹脂硬化体の再生方法。

IPC (6件)：

C01B 33/12 ,  B09B 3/00 ,  B09B 5/00 ,  C01B 7/09 ,  C01G 30/00 ,  C08J 11/00

FI (2件)：

B09B 3/00 304 P ,  B09B 5/00 Q