特許

J-GLOBAL ID：200903056974625823

結晶成長炉用ペディスタル装置

発明者： 白石 裕
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093173
公開番号（公開出願番号）：特開平10-273375
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 大重量の単結晶が落下した場合にるつぼ軸の破損などを防止する。【解決手段】 ペディスタル3は隔壁3cより上の部分3aと、隔壁3cより下の部分であってるつぼ軸1が嵌合する部分3bが共に中空で形成され、中空部3a、3bの間に隔壁3cが形成されている。ペディスタル3の隔壁3cより上の部分の中空部3aの内径は、るつぼ軸1の直径以上のサイズで形成されている。ボルト2は隔壁3cを介してるつぼ軸1とペディスタル3を固定し、また、ペディスタル3の隔壁3cより上の部分の中空部3a内には、高熱に耐え得る例えば炭素繊維などの緩衝材9が配置されている。単結晶11が石英るつぼ6の上に落下した場合、落下衝撃によりペディスタル3が荷重が受けたときにるつぼ軸1がペディスタル3の隔壁3cより上の部分の中空部3aに貫通する。

請求項（抜粋）：

石英るつぼを回転、昇降させるためのるつぼ軸と、前記るつぼ軸が嵌合する第1の中空部を下方に有し、前記第1の中空部の上に内径が前記るつぼ軸の外径以上である第2の中空部を有し、前記第1の中空部と前記第2の中空部の間には所定の力が加わると破断する隔壁を有した管状部と、前記管状部の上部に前記石英るつぼ又はその載置装置を支持するフランジ部を有するペディスタルとを、有する結晶成長炉用ペディスタル装置。

IPC (2件)：

C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/00 P ,  C30B 29/06 502 B