特許

J-GLOBAL ID：200903056986874713

表面形状の決定方法

発明者： ヘイモ・ケラーネン
出願人/特許権者： サーモ・レディオメトリー・オイ
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-198697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071328
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】 実用的な寸法を有する光学測定構成を用いて高い測定精度を実現する方法及びその方法を実施するための光学測定構成を提供することである。【解決手段】 測定方法は、一の照射方向から物体面の表面領域へ第1の時に光照射を行う段階であって、その照射は強度プロファイルの異なる点での異なる強度を有し、実質的には時間変動がない一定の強度を有する光照射の一部である段階を含んでいる。表面領域は、既知の方向差だけ前記照射方向からずれているイメージング方向からイメージングを実施することによってイメージ情報を生成するようにイメージされる。前記照射及びイメージングは少なくとも2つの他の時に実施される。強度値比は、照射される表面領域から発せられるイメージ情報によって成る強度値から生成され、その比は強度プロファイル上の点を決定する。表面領域の高さは物体面の形状を決定するのに決められる。

請求項（抜粋）：

第1の時に一の照射方向から物体面の表面領域へ光照射を行う段階であって、その照射はその強度プロファイルの異なる点では異なる強度を有し、実質的には時間変動がない一定の強度を有する光照射の一部である段階と;前記第1の時に表面をイメージングして、既知の方向差(118)だけ前記照射方向からずれているイメージング方向からイメージングを実施することによってイメージ情報を生成する段階と;少なくとも二の他の時に前記照射方向から表面領域に光照射を行って強度プロファイルの3つの異なる部分で表面領域を照射する段階であって、その照射は実質的には時間変動がない一定の強度を有する前記光照射の一部でありかつ前記強度プロファイル上に前記照射部分から既知の距離で位置付けられるものである段階と;少なくとも二の他の時に表面領域をイメージングして、既知の方向差(122)だけ前記照射方向からずれたイメージング方向からイメージングを実施することによってイメージ情報を生成する段階と;前記第1の時及び前記の少なくとも二の他の時に照射された面から生成されたイメージ情報より成る強度値から強度プロファイル上の点を決定する段階と;強度プロファイル上の前記の点と前記既知の方向差と前記距離とをもとに、物体面の形状を決定するために表面領域の高さを決定する段階と、を備えたことを特徴とする物体(100)の面の形状の決定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G02B 27/00

FI (2件)：

G01B 11/24 K ,  G02B 27/00 V

Fターム (21件)：

2F065AA53 ,  2F065CC01 ,  2F065CC06 ,  2F065DD02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05