特許
J-GLOBAL ID：200903056990665380
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043517
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258234
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】検査対象物の表面に付着したごみやしみなどをピンホールなどの欠陥部と検出する誤認を防ぐ。【構成】検査対象物となるインナーリード1の下方から透過照明光3を照射するとともに、インナーリード1の側面からも、インナーリード1の表面に向けて補助照明光10を照射する。この補助照明光10が照射されたインナーリード1の表面のしみなどから反射された反射光17を撮像カメラ12で受光し撮像する。
請求項（抜粋）：
ワークの表面に落射光を照射する落射照明部と、前記ワークの表面に側面から照射する補助照明部と、前記ワークの表面から反射された反射光を撮像する撮像部と、この撮像部から入力された前記ワークの反射光の信号が入力され前記ワークの表面の欠陥を抽出する画像処理部を具備したことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
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