特許

J-GLOBAL ID：200903056991837966

弾性表面波装置

発明者： 津々見 修司 ,  花嶋 直之 ,  米澤 政
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-077132
公開番号（公開出願番号）：特開平10-276060
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 櫛形電極の微細加工を必要とすることなく所望の共振周波数の高周波対応弾性表面波装置を提供する。【解決手段】 単結晶あるいは多結晶基板と、単結晶あるいは多結晶基板上に形成された圧電体薄膜と、圧電体薄膜上に形成された導電性膜よりなる櫛形電極とを備えてなる弾性表面波装置。圧電体薄膜はゾルゲル法により形成された厚さ0.03〜5μmのチタン酸鉛(PT)薄膜よりなり、櫛型電極間に電界をかけ、上記薄膜を分極処理することにより圧電体薄膜となる。

請求項（抜粋）：

単結晶あるいは多結晶基板と、該単結晶あるいは多結晶基板上に形成された圧電体薄膜と、該圧電体薄膜上に形成された導電性膜よりなる櫛形電極とを備えてなる弾性表面波装置において、該圧電体薄膜がゾルゲル法により形成された厚さ0.03〜5μmのチタン酸鉛薄膜よりなり、前記櫛型電極間に電界をかけ、該チタン酸鉛薄膜を分極処理することにより圧電体薄膜としたことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (4件)：

H03H 9/25 ,  C04B 35/46 ,  C30B 29/22 ,  H01B 3/12 302

FI (4件)：

H03H 9/25 C ,  C30B 29/22 Z ,  H01B 3/12 302 ,  C04B 35/46 K