特許
J-GLOBAL ID:200903056994230167

テスト・オン・ウエファ・ステーションのEWSプローブカード及びテストカード間のユニバーサル多接触接続構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-174354
公開番号(公開出願番号):特開平6-021167
出願日: 1991年06月19日
公開日(公表日): 1994年01月28日
要約:
【要約】【目的】 EWSプローブカードとデバイスカードをケーブルを使用して接続する従来の接続構造は、時間を浪費し、かつケーブル数が莫大になるという欠点がある。本発明は前記両カードを迅速かつ容易に低コストで接続できるユニバーサル構造を提供する。【構成】 接続すべきEWSプローブカードの上面とテストカードの下面にそれぞれ雄コンタクトを形成し、両雄コンタクトをリセプタクル内にゆとりをもって設置されるユニバーサルコネクタのダブル雌コンタクトに接続することにより電気的に接続する。
請求項(抜粋):
カード支持構造を有するテスト・オン・ウエファ・ステーションに設置されるEWSプローブカードとテストカードを接続するためのユニバーサル多接触接続デバイスにおいて、プローブカードの上面に永続的に設置されかつ前記プローブカードの底面から突出するそれぞれのプローブに個々に接続された平行ピンの形態の第1の複数の雄コンタクト、テストカードの底面に永続的に設置された平行ピンの形態の第2の複数の雄コンタクト、実質的に絶縁性である部材中に形成されたそれぞれのリセプタクル内にゆとりをもって形成される複数のダブル雌コンタクトが装着されたユニバーサルコネクタ及び、実質的に前記プローブカードを圧迫することなく、下側の雌コンタクトと前記プローブカードの雄コンタクト間のカップリング位置に前記電気絶縁性部材を支持する手段を含んで成り、前記複数のコンタクトが、鏡に映した関係のようにそれらのそれぞれのアセンブリ面上に配置され、前記プローブカードの雄コンタクトと前記テストカードのそれぞれの雄コンタクトを前記ユニバーサルコネクタの前記ダブル雌コンタクトを通して相互カップリングを行うことを可能にしたことを特徴とするデバイス。
IPC (3件):
H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭64-048439
  • 特開昭60-001840

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