特許

J-GLOBAL ID：200903056996754465

露光装置

発明者： 柳澤 通雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174228
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367893
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】【課題】 ステージ駆動終了時や駆動方向切換時に構造体に不要な高周波振動を発生させることなく、ステージ駆動反力のキャンセルを可能とする高精度な露光装置を提供する。【解決手段】 レチクル102のパターンをウエハ104に露光する露光装置において、レチクルステージ101と、ウエハステージ103と、両ステージ101,103を搭載する構造体105を支持するマウント106,107,108とを有し、マウント106,107,108はエアアクチュエータとリニアモータを有し、構造体105に搭載された構造体振動検出手段と構造体105の位置検出手段から前記エアアクチュエータと前記リニアモータを制御する制御回路を有し、レチクルステージ101および/またはウエハステージ103の駆動信号を不感帯回路等の信号処理手段で処理してマウント106の制御回路に加える。

請求項（抜粋）：

原版のパターンを基板に露光する露光装置において、前記原版の移動手段である原版ステージと、前記基板の移動手段である基板ステージと、前記原版ステージおよび/または前記基板ステージを搭載する構造体と、前記構造体を支持する少なくともリニアモータとエアアクチュエータを有するマウントと、前記構造体の振動を検出する構造体振動検出手段と、前記構造体の位置を検出する位置検出手段とを備え、前記構造体振動検出手段と前記位置検出手段の検出値から前記リニアモータと前記エアアクチュエータを制御する制御回路を有し、前記原版ステージおよび/または前記基板ステージの駆動信号を所定の不感帯の幅および入出力特性を有する不感帯回路または該不感帯回路と同等の信号処理を行う信号処理手段で処理して前記制御回路に加えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (17件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA50 ,  5F031HA55 ,  5F031JA01 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031LA06 ,  5F031LA08 ,  5F031PA06 ,  5F046AA23 ,  5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046DB06 ,  5F046DB10