特許

J-GLOBAL ID：200903056996960197

ブレード摩耗補償方法

発明者： 関家 一馬 ,  高橋 敏昭
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085928
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273070
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 ロットが異なる毎に現実のウェーハを実際に切削してそのロット固有のブレード摩耗データを作成し、この摩耗データに基づいて各ロット毎に高精度なブレードハイト制御が出来るようにした、ブレード摩耗補償方法を提供する。【構成】 ウェーハのダイシングによって生じるブレード摩耗を補償してブレードのハイト制御を行うブレード摩耗補償方法において、ウェーハの厚さ、酸化膜等の膜厚がロット毎に異なることに着目し、ブレードの摩耗量をそのロットのウェーハを切削することにより実測してロット固有の摩耗データを作成し、この摩耗データに基づいてハイト制御をロット毎に遂行する。

請求項（抜粋）：

ウェーハのダイシングによって生じるブレードの摩耗を補償してブレードのハイト制御を行うブレード摩耗補償方法において、ウェーハの厚さ、酸化膜等の膜厚がロット毎に異なることに着目し、ブレードの摩耗量をそのロットのウェーハを切削することにより実測してロット固有の摩耗データを作成し、この摩耗データに基づいてハイト制御をロット毎に遂行するブレード摩耗補償方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B24B 27/06

FI (2件)：

H01L 21/78 F ,  H01L 21/78 Q

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-097805
  
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-335591   出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
• 特開昭62-097805