特許

J-GLOBAL ID：200903057012819037

レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法

発明者： 永田 泰昭
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073967
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271280
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 必要なレーザー光源、ファブリ・ペロー干渉計などの数を最小限に抑え、効率よく一つの被検体について二つ以上の観測点で同時に超音波の観測を行うことができるレーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法を提供する。【解決手段】 超音波観測用レーザー光源11から放射されたレーザービームは、偏光ビームスプリッタ12によって二つに分けられ、それぞれ音響光学素子14,15に入る。音響光学素子、14,15は、供給される信号に基づいて、入射されるレーザービームの光周波数をf0 から、それぞれf2 及びf1 に変換する。ここで、f1 は透過光強度を光周波数で微分した値が局所的に最大となるような光周波数あるいはその近傍の光周波数であり、f2 は、透過光強度を光周波数で微分した値が局所的に最小となるような光周波数あるいはその近傍の光周波数である。

請求項（抜粋）：

被検体に超音波を発生させるためのレーザービームを発する第一のレーザー光源と、前記被検体を伝播した超音波を観測するためのレーザービームを発する第二のレーザー光源と、前記第二のレーザー光源から発せられたレーザービームを少なくとも二つのレーザービームに分岐する第一の分岐手段と、前記第一の分岐手段によって少なくとも二つに分岐された各レーザービームの光周波数を、それぞれに異なる所定の光周波数に変換する光周波数変換手段と、前記所定の光周波数に変換された各レーザービームを前記被検体の所定位置に照射するとともに、前記被検体から反射されたそれぞれのレーザービームを単一の光学経路に統合する光学手段と、前記光学手段により単一光学経路に統合された前記レーザービームを入射させるファブリ・ペロー干渉計と、前記ファブリ・ペロー干渉計から出力されたレーザービームを、光周波数によってそれぞれのレーザービームに分岐する第2の分岐手段と、前記第2の分岐手段によって分岐されたそれぞれのレーザービームを入射させてその強度変化を検出する光検出手段と、を具備し、前記光周波数変換手段を経たあとの前記各レーザービームの前記所定の光周波数を、前記ファブリ・ペロー干渉計の光透過特性において透過光強度を光周波数で微分した値の絶対値が局所的に最大となるような光周波数(最大変化周波数)もしくはその近傍としたことを特徴とするレーザー超音波検査装置。