特許
J-GLOBAL ID：200903057013128097
クリーンルーム内の湿度調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三浦 進二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135756
公開番号（公開出願番号）：特開平11-323579
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 ボイラー復水処理剤として環状構造を有する中和性アミンを用いることにより、蒸気・復水系の配管や機器の腐食を防止すると共に、クリーンルーム内への加湿用ボイラー蒸気の導入によるシリコンウェーハ等のアミンによる汚染を低減し、該汚染による製品の不具合を無くすことが可能なクリーンルーム内の湿度調整方法を提供する。【解決手段】 モルホリンやシクロヘキシルアミン等の環状構造を有する中和性アミンをボイラー復水処理剤として用い、得られるボイラー蒸気をクリーンルーム内の加湿に用いる。特に、分配比の異なる複数の環状構造を有する中和性アミン(分配比0.01〜2のアミンと分配比が2を越えるアミン)を併用すると、防食効果と経済性の面で有利である。
請求項（抜粋）：
ボイラーの復水処理剤として少なくとも一種の環状構造を有する中和性アミンを使用して、加湿用ボイラー蒸気をクリーンルームに供給することを特徴とするクリーンルーム内の湿度調整方法。
IPC (3件)：
C23F 11/14 101
, C23F 11/02
, F24F 6/18
C23F 11/14 101
, C23F 11/02
, F24F 6/18
