特許

J-GLOBAL ID：200903057020427890

合成石英ガラス板用容器

発明者： 三代 均
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-113299
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307831
出願日： 2002年04月16日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】 合成石英ガラス板を、破損等を起こすことなく搬送・輸送できる合成石英ガラス板用容器を提供する。【解決手段】 合成石英ガラス製のペリクル板Aを収容する収容空間11を有する容器本体10と蓋体20とを備え、容器本体10の周壁10bの内面に、ペリクル板Aを載置する載置面13と、ペリクル板Aの水平方向の移動を規制する位置決め面14とを有する保持部15を形成するとともに、蓋体20の天板下面に、容器本体10の保持部15の載置面13とともにペリクル板Aの周縁を挟持する押付部21を形成したペリクル板用容器。

請求項（抜粋）：

合成石英ガラス板を収容する収容空間を有する容器本体と前記容器本体の収容空間の開口を開閉自在に覆う蓋体とを備え、前記容器本体の収容空間を画成する周壁の内面に、合成石英ガラス板の周縁を載置する載置面と、合成石英ガラス板の水平方向の移動を規制する位置決め面とを有する段状の保持部を形成するとともに、前記蓋体の天板下面から前記容器本体側に突出し、前記容器本体の保持部の載置面とで合成石英ガラス板の周縁を挟持する押付部を形成したことを特徴とする合成石英ガラス板用容器。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  B65D 85/48 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 1/14 J ,  G03F 1/14 M ,  B65D 85/48 ,  H01L 21/68 T

Fターム (45件)：

2H095BC33 ,  2H095BE12 ,  3E096AA01 ,  3E096AA04 ,  3E096AA06 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BA30 ,  3E096BB03 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096DB07 ,  3E096DB08 ,  3E096DC01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA23 ,  3E096FA26 ,  3E096GA03 ,  3E096GA07 ,  3E096GA11 ,  3E096GA13 ,  5F031CA01 ,  5F031CA04 ,  5F031DA12 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031KA02 ,  5F031KA11 ,  5F031PA20 ,  5F031PA23