特許
J-GLOBAL ID：200903057022387534
レーザビーム走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日本エー・エム・ピー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307220
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214175
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で、小型化の可能な2次元レーザビーム走査装置を提供すること。【構成】 2次元レーザビーム走査装置40は支持台42に自由端が振動可能に取付けられた可撓性フィルム状の圧電バイモルフ44を有する。この圧電バイモルフ44の自由端54にミラー60を取付け、電極46a 、46b 、48a 、48b に駆動手段64、66からの発振信号電圧を印加して、ミラー60を直交2方向A、Bへ同時に振動させる。このミラー60への入射レーザビーム88を2次元的に走査される。
請求項（抜粋）：
支持台と、該支持台に自由端が振動可能に取付けられた可撓性フィルム状の圧電バイモルフと、該圧電バイモルフの自由端に取付けられ入射レーザビームを反射するミラーと、前記圧電バイモルフの電極に発振信号電圧を印加して前記ミラーを同時に直交方向に振動させる駆動手段とを具えることを特徴とするレーザビーム走査装置。
IPC (2件)：
G02B 26/10
, G02B 26/10 101
