特許
J-GLOBAL ID：200903057023869176
板状材の処理装置、及びこれを備えた処理設備
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360912
公開番号（公開出願番号）：特開平11-188319
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 板状の試料1を回転させつつ、薬液等をかけて試料を処理する装置の小型化、装置に起因する発塵の抑制、耐熱性及び耐食性の向上を図る。【解決手段】 回転体20をダイレクトドライブモータ40で回転させる。回転体20は、支持体10の上スタータ15に形成した軸受面16と回転体20のロータ21に形成した軸受面22との間に流体を流し、これら軸受面16,22を有して構成される流体軸受で回転可能に支持する。試料1は、回転体20の上に設けた把持機構30で把持する。把持機構30は、揺動アーム33と揺動アーム33の上端に固定された爪31とを有し、回転体20の回転による遠心力で爪31が駆動して、試料1をしっかりと把持する。
請求項（抜粋）：
板状材を回転させつつ、その表面に処理流体を供給して該板状材を処理する板状材の処理装置において、前記板状材を把持する複数の爪を有している把持手段と、前記爪で把持されている前記板状材に前記処理流体を噴出する処理流体噴出手段と、前記把持手段の複数の前記爪が設けられている回転体と、前記回転体を回転可能に支持する支持体と、前記回転体を前記支持体に対して非接触で回転させる非接触回転手段と、を備え、前記把持手段は、前記爪と、前記回転体に取り付けられている揺動軸と、該揺動軸に揺動自在に取り付けられ、該揺動軸を中心として一端側に該爪が設けられ、該揺動軸を中心として、他端側全体の慣性モーメントが該爪を含めた該一端側全体の慣性モーメントよりも大きい揺動アームと、を有し、前記支持体の一部には、軸受面が形成され、前記回転体の一部にも、該支持体の該軸受面と僅かな隙間を有して対向する軸受面が形成され、該支持体には、該軸受面間に流体を供給する軸受用流体通路が形成され、該軸受面と該軸受用流体通路とを有して構成される流体軸受を備えている、ことを特徴とする板状材の処理装置。
IPC (2件)：
B08B 3/02
, H01L 21/304 643
B08B 3/02 B
, H01L 21/304 643 A
