特許
J-GLOBAL ID：200903057028913734
研磨の終点検出方法及びその研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-212836
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078369
出願日： 1994年09月06日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】研磨の終点を高精度に検出し得る研磨の終点検出方法及びその研磨装置を提供する。【構成】摩擦係数の異なる材料層を備えた基板を研磨するに際し、研磨温度変化を検出し、該研磨温度が所定温度に達した時点で研磨を自動的に停止する。
請求項（抜粋）：
摩擦係数の異なる材料層を備えた基板を研磨するに際し、研磨温度変化を検出し、該研磨温度が所定温度に達した時点で研磨を自動的に停止することを特徴とする研磨の終点検出方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304
, B24B 49/14
