特許
J-GLOBAL ID：200903057044353757
電子ビーム直接描画用アライメントマーカーおよびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290680
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102020
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【構成】 ジョセフソン接合集積回路の作製のためのアライメントマーカーである。このアライメントマーカー13は各集積回路チップ内に設けられ、かつジョセフソン接合素子と同じ積層構造を有する。【効果】 ジョセフソン集積回路の作製工程において用いられる電子ビーム直接描画用アライメントマーカーを簡便に作製することができる。
請求項（抜粋）：
ジョセフソン接合集積回路の作製のためのアライメントマーカーにおいて、前記アライメントマーカーが各集積回路チップ内に設けられ、かつジョセフソン接合素子と同じ積層構造を有することを特徴とする電子ビーム直接描画用アライメントマーカー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 341 Z
, H01L 21/30 301 M
