特許
J-GLOBAL ID：200903057051613047
ダイヤモンドの合成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336315
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183887
出願日： 1992年12月16日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 この発明の目的は、均一な膜厚を有すると共に結晶性に優れたダイヤモンド膜を大きな成膜速度で製造することのできるダイヤモンドの合成装置。【構成】 この発明のダイヤモンドの合成装置は、マイクロ波プラズマを用いた気相法ダイヤモンド合成装置において、マイクロ波導波管の反応器に近接した部位におけるE面の内壁が、導波管内空隙部の横断面を該反応器方向に向かって縮小するように形成した導波管を備えてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
マイクロ波プラズマを用いた気相法ダイヤモンド合成装置において、マイクロ波導波管の反応器に近接した部位におけるE面の内壁が、導波管内空隙部の横断面を該反応器方向に向かって縮小するように形成した導波管を備えてなることを特徴とするダイヤモンドの合成装置。
IPC (2件)：
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