特許

J-GLOBAL ID：200903057065017331

欠陥検出装置、欠陥検出システム、欠陥検出方法、及び記憶媒体

発明者： 岡部 正治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279502
公開番号（公開出願番号）：特開2001-101417
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 検査対象物の表面上に発生する様々な欠陥を高精度に検出可能とすることで、欠陥検検出力及び信頼性の向上を図った欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 特徴データ統合手段108は、画像情報(検査対象物の表面画像)から得られた欠陥領域毎の特徴データ(最大値、最小値、面積値)において、所定の条件を満たす特徴データを1つの特徴データに統合する(近くにある複数の欠陥の特徴データを統合する)。分類手段109は、特徴データ統合手段108により統合された特徴データの最大値、最小値、面積値に基づいて、欠陥種類を分類する。このとき、特に、最大値の大きさ、最小値の大きさのみでなく、最大値と最小値の差分値(欠陥信号の振幅)によっても、欠陥種類を分類する。

請求項（抜粋）：

検査対象物の表面からの反射光から得られた画像情報に基づいて、上記表面上の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、上記画像情報から複数の欠陥領域情報を取得する欠陥領域取得手段と、上記欠陥領域取得手段により得られた複数の欠陥領域情報のそれぞれの特徴量を取得する特徴量取得手段と、上記特徴量取得手段により得られた特徴量に基づいて、当該欠陥領域内の欠陥の種類を分類する分類手段とを備え、上記特徴量取得手段は、上記特徴量として少なくとも上記欠陥領域内の画像情報の最大値と最小値を取得し、上記分類手段は、少なくとも上記最大値と最小値の差分値に基づいて、欠陥種類を分類することを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (2件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400

Fターム (35件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA00 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC05 ,  5B057AA02 ,  5B057BA29 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE06 ,  5B057CE09 ,  5B057CH09 ,  5B057CH14 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC05 ,  5B057DC36