特許

J-GLOBAL ID：200903057067147089

試料冷却観察装置

発明者： 大蔵 昭光
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-007095
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196831
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】-20°C以下の低い温度設定や調整が容易で、大気圧状態から試料観察時の試料室圧力状態に至るまで、任意に長時間温度調整が可能で、試料温度と試料室圧力の条件を随時表示することのできる試料冷却観察装置を提供する。【解決手段】試料を冷却状態にして観察する手段を有する走査形電子顕微鏡およびその類似装置の試料冷却観察装置において、試料を載せる部材の近くに、試料温度を調節するために設けた加熱手段は、大気圧状態から試料観察時の試料室圧力状態に至るまで、任意に加熱でき、白金線と絶縁物からなる発熱体とケースか、または、ニクロム線と絶縁物からなる発熱体と、これを遮蔽するケースとで構成する。または、加熱部材は、セラミックヒータで構成する。

請求項（抜粋）：

試料を冷却状態にして観察する手段を有する走査形電子顕微鏡およびその類似装置の試料冷却観察装置において、前記試料を載せる部材の近くに、試料温度を調節するための加熱手段を設け、前記加熱手段は、大気圧状態から試料観察時の試料室圧力状態に至るまで、任意に加熱できる部材で構成し、試料温度と前記試料室の圧力を陰極線管上に表示できるように構成したことを特徴とする試料冷却観察装置。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 37/00 ,  H01J 37/20

FI (3件)：

G01N 1/28 K ,  G01N 37/00 A ,  H01J 37/20 E