特許
J-GLOBAL ID:200903057075121480
再剥離型粘着剤組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-230179
公開番号(公開出願番号):特開2000-044889
出願日: 1998年07月31日
公開日(公表日): 2000年02月15日
要約:
【要約】【課題】 各種被着体に対する粘着性、(紫外線等による硬化後の)再剥離性、耐汚染性、耐金属腐食性等に優れ、特に半導体ウエハのダイシング工程の一時的接着用途におけるダイシング適性、エキスパンド適性、ピックアップ効率等に優れた再剥離型粘着剤組成物を提供すること。【解決手段】 (a)アセトアセチル基含有アクリル系粘着剤、(b)ウレタンアクリレート系化合物、(c)光重合開始剤、(d)架橋剤を含有してなる。
請求項(抜粋):
(a)アセトアセチル基含有アクリル系粘着剤、(b)ウレタンアクリレート系化合物、(c)光重合開始剤、(d)架橋剤を含有してなることを特徴とする再剥離型粘着剤組成物。
IPC (3件):
C09J 4/02
, C08F 2/48
, H01L 21/301
FI (3件):
C09J 4/02
, C08F 2/48
, H01L 21/78 M
Fターム (46件):
4J011QA04
, 4J011QA14
, 4J011QA37
, 4J011QA38
, 4J011QA39
, 4J011QA48
, 4J011QB20
, 4J011QB23
, 4J011QB24
, 4J011RA03
, 4J011RA11
, 4J011RA17
, 4J011SA90
, 4J011UA01
, 4J011WA06
, 4J040DF041
, 4J040DF042
, 4J040DF051
, 4J040DF052
, 4J040DL121
, 4J040DL122
, 4J040EB092
, 4J040EB132
, 4J040EC032
, 4J040EC062
, 4J040EF181
, 4J040EF191
, 4J040FA291
, 4J040FA292
, 4J040GA06
, 4J040HB13
, 4J040HB17
, 4J040HB18
, 4J040HB19
, 4J040HC01
, 4J040HC16
, 4J040HC22
, 4J040HD19
, 4J040HD41
, 4J040JA09
, 4J040JB09
, 4J040KA13
, 4J040KA16
, 4J040LA06
, 4J040LA07
, 4J040NA20
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