特許
J-GLOBAL ID:200903057075175504

ディスプレイ用ガラス基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-001001
公開番号(公開出願番号):特開2001-192238
出願日: 2000年01月06日
公開日(公表日): 2001年07月17日
要約:
【要約】【課題】 パターニングされた電極膜の付着力が強く、電極膜の剥離の問題のないディスプレイ用ガラス基板を提供する。【解決手段】 表面が平滑な基板ガラス1上に、凹凸を付与するための結晶性を有する金属酸化物の下地膜2と、該下地膜2の凹凸を反映する膜厚の非晶質の絶縁性連続膜3と、パターニングされた電極膜4とがこの順序で成膜されたディスプレイ用ガラス基板。パターニングされた電極膜4は、その付着力がJIS R3255-1997「ガラスを基板とした薄膜の付着性試験」で規定される15mN以上である。
請求項(抜粋):
表面が平滑な基板ガラス上に、凹凸を付与するための結晶性を有する金属酸化物の下地膜と、該下地膜の凹凸を反映する膜厚の非晶質の絶縁性連続膜と、パターニングされた電極膜とがこの順序で成膜されたディスプレイ用ガラス基板であって、前記パターニングされた電極膜は、その付着力がJISR3255-1997「ガラスを基板とした薄膜の付着性試験」で規定される15mN以上であることを特徴とするディスプレイ用ガラス基板。
IPC (4件):
C03C 17/34 ,  C23C 16/40 ,  G09F 9/30 310 ,  G09F 9/30 330
FI (4件):
C03C 17/34 Z ,  C23C 16/40 ,  G09F 9/30 310 ,  G09F 9/30 330 Z
Fターム (35件):
4G059AA08 ,  4G059AC01 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA04 ,  4G059EB02 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA05 ,  4G059GA12 ,  4K030BA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA46 ,  4K030BA47 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA06 ,  4K030LA18 ,  5C094AA32 ,  5C094AA36 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA54 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094EB02 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA20
引用特許:
審査官引用 (1件)

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