特許

J-GLOBAL ID：200903057077563188

研磨液

発明者： 両毛 克己
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-050765
公開番号（公開出願番号）：特開2001-240849
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【課題】 水溶液に研磨材を分散してなる研磨液の経時による凝集およびゲル化による固化を抑制し取り扱い性を改善し良好な研磨性を確保する。【解決手段】 被研磨体5を研磨するときに用いる研磨材と水溶液からなる研磨液16であって、この研磨液16に使用する水の電気伝導度が、0.500μS/cm(25°C)以下で、多価イオンの含有量を低減することなどで凝集を抑制する。

請求項（抜粋）：

被研磨体を研磨するときに用いる研磨材と水溶液からなる研磨液において、該研磨液に使用する水の電気伝導度が、0.500μS/cm(25°C)以下であることを特徴とする研磨液。

IPC (5件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622 ,  B24B 19/00 603

FI (5件)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 C ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 622 D ,  B24B 19/00 603 B

Fターム (9件)：

3C049AA07 ,  3C049CA01 ,  3C049CB04 ,  3C049CB10 ,  3C058AA07 ,  3C058CB04 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17