特許

J-GLOBAL ID：200903057080585419

インピ-ダンス整合回路

発明者： 西森 康博 ,  谷口 道夫
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (1件)： 中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230674
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078994
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、プラズマ処理装置に内蔵する改良したインピーダンス整合回路を提供するものである。【構成】 本発明のインピーダンス整合回路は、プラズマ処理装置における高周波発振源100と半導体処理室内340の高周波印加電極321との間に接続してインピーダンス整合を行うインピーダンス整合回路において、第1の可変コンデンサ203を入力端子221と接地E間に接続し、第2の可変コンデンサ204の一端を入力端子221に接続し、第2の可変コンデンサ204の他端を、2次巻線233bが出力端子222と接地E間に接続された複巻変圧器233の1次巻線233aの一端に接続し、複巻変圧器233の1次巻線233aの他端を接地したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置における高周波発振源と半導体処理室内の高周波印加電極との間に接続してインピーダンス整合を行うインピーダンス整合回路において、第1の可変コンデンサを入力端子と接地間に接続し、第2の可変コンデンサの一端を前記入力端子に接続し、前記第2の可変コンデンサの他端を、2次巻線が出力端子と接地間に接続された複巻変圧器の1次巻線の一端に接続し、前記複巻変圧器の1次巻線の他端を接地したインピーダンス整合回路。

IPC (2件)：

H03H 7/40 ,  H03H 7/38

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭50-015528
  
• インピーダンス自動整合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-218741   出願人：株式会社ダイヘン