特許
J-GLOBAL ID：200903057082826839
基板曲げ試験機
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-126882
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318896
出願日： 1997年05月16日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 基板に荷重が加わったときの基板の状態を正確に観察することができる基板曲げ試験機を提供することを目的とする。【解決手段】 一対の主面を有する基板3を支持する支持部材8,9と、前記基板3の一方の主面から押圧する押圧手段4と、前記基板の他方の主面における状態を観察するための顕微鏡1とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板に応力を加えた状態を観察する基板曲げ試験機であって、一対の主面を有する基板を支持する支持部材と、前記基板の一方の主面から押圧する押圧手段と、前記基板の他方の主面における状態を観察するための顕微鏡とを具備することを特徴とする基板曲げ試験機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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