特許
J-GLOBAL ID：200903057085929957
PVD装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334741
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179967
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 シャッタの開閉に連動して蒸着源の電源の出力電力を可変にして消費電力を低減すること。【構成】 スパッタ源1a,1bと、スパッタ源にそれぞれ独立に設けられた電源2a,2bおよびシャッタ3a,3bとを備え、シャッタを閉じたときの電源の出力電力を、スパッタを維持することができる最小限の値にすることを特徴とするスパッタ装置等のPVD装置。
請求項（抜粋）：
複数の蒸着源と、前記蒸着源にそれぞれ独立に設けられた電源およびシャッタとを備えたPVD装置において、前記シャッタの開閉に連動して前記電源の出力電力を可変にする電源電力可変手段を備えたことを特徴とするPVD装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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