特許

J-GLOBAL ID：200903057090636577

合焦検出装置及び方法

発明者： 谷田 徹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-347361
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167060
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 適正な目標位置に対物レンズを駆動して正確な合焦を可能にする合焦検出装置。【解決手段】 環境温度の変化により、投影面PS上で物体像が合焦していても当初設定した検出面DS上では擬似的に上側デフォーカス状態が検出されてしまうことがある。この場合、検出面DS即ち合焦基準位置を光軸OA方向上側に移動させる。具体的には、CCD移動装置46を動作させて点線で示す位置にCCD撮像装置45を配置する(図6(a))。環境温度の変化により、投影面PS上で物体像が合焦していても当初設置した検出面DS上では擬似的に下側デフォーカス状態が検出されてしまうことがある。この場合、検出面DS即ち合焦基準位置を光軸OA方向下側に移動させる。具体的には、CCD移動装置46を動作させて点線で示す位置にCCD撮像装置45を配置する(図6(b))。

請求項（抜粋）：

物体面に合焦検出用の光を照射し前記物体面で反射した前記合焦検出用の光に基づいて合焦検出面に対する物体像の合焦ずれを検出するずれ検出装置を備える合焦検出装置において、環境温度の変化に応じて、前記ずれ検出の際に基準となる合焦基準位置を調整する調整装置を備えることを特徴とする合焦検出装置。

IPC (3件)：

G02B 7/28 ,  G02B 7/02 ,  G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 7/11 J ,  G02B 7/02 F ,  G03B 3/00 A