特許

J-GLOBAL ID：200903057095747865

吸着テーブル

発明者： 小長井 春雄
出願人/特許権者： 小長井 春雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-228154
公開番号（公開出願番号）：特開平5-038647
出願日： 1991年05月29日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 吸着テーブルに多数設けられた吸引孔に被加工物を載置すると自動的に吸引の必要する部分のみで吸引することを可能とする。【構成】 吸着テーブル6の厚さ方向に複数の吸引孔7を形成する。吸引孔7の下方に連設し真空室9を形成する。真空室9の下端に絞りBを形成し、その下端に連設し筒Cを形成する。筒C下部にスプリング受け11を設けスプリング10を収容する。スプリング10の上端に球体12を設け、筒C下端に吸引口14を形成する。吸引孔7への空気の流入の有無によりスプリング10と球体12が連結屈伸し、球体12と絞りBの面とは接離する弁座13を形成する。

請求項（抜粋）：

吸着テーブルの厚さ方向に複数の吸引孔を形成し,吸引孔下方に連設し真空室を形成し,真空室下端に連設し絞りを形成し,絞り下端に連設し筒を形成し,筒内にスプリングを設け,筒下部にスプリング受けを設け,スプリング上端に球体を設け,筒下端に吸引口を形成し,吸引孔への空気の流入の有無によりスプリングと球体が連結屈伸し,球体と絞り面と接離する弁座を形成することから構成された吸着テーブル。