特許

J-GLOBAL ID：200903057102317871

試料導入方法及び露光装置

発明者： 長谷川 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342498
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196391
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 シンプルな構成でより信頼性を高めた試料導入方法や露光装置の提供。【構成】 所定の圧力及び雰囲気純度に保たれた露光室である第1チャンバ(1)と、第1チャンバ(1)とゲート弁(3)で仕切られた第2チャンバ(2)と、第1チャンバ(1)と第2チャンバ(2)とを連通する連通経路に設けられたバルブ(18)とを備える。まずゲート弁(3)を閉じた状態でウエハが内蔵された第2チャンバ(2)を所定の圧力まで減圧して、次いで前記連通経路のバルブ19を開いて、第2チャンバと第1チャンバとの雰囲気を合わせる。この後、ゲート弁(3)を開けて、第2チャンバ(2)のウエハを第1チャンバ(1)に移送し、ウエハホルダ(24)にセットする。この状態で、X線放射源(21)からのX線を第1チャンバ(1)に導入して、マスクパターンをウエハに露光転写する。

請求項（抜粋）：

所定の圧力及び雰囲気純度を有する第1チャンバの内部に、該第1チャンバとゲート弁で仕切られた第2チャンバから試料を導入する方法であって、前記ゲート弁を閉じた状態で第2チャンバを所定の圧力まで減圧した後、第2チャンバを第1チャンバと連通し、この後、前記ゲート弁を開けて第2チャンバ内の試料を第1チャンバに導入することを特徴とする試料導入方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-276074
  
• 特開平2-149613
  
• 特開平2-077809
  
• 特開平2-077809