特許

J-GLOBAL ID：200903057102660088

セラミックグリーンシートの取扱方法および取扱装置ならびに積層セラミック電子部品の製造方法

発明者： 馬場 広之
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-205266
公開番号（公開出願番号）：特開2004-074788
出願日： 2003年08月01日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】カットテーブルに位置決めされたキャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出し、これを吸着ヘッドにより吸着しながらキャリアフィルムから剥離し保持するため、吸着ヘッドの吸着面には負圧が与えられる複数の吸引口が設けられるが、吸引口の吸着面側に位置するエッジがセラミックグリーンシートに食い込みこれを破損させることがある。【解決手段】セラミックグリーンシート6をキャリアフィルム2から剥離した後、吸引口9,10に与えられる負圧を弱め、この状態で、切り出されたセラミックグリーンシート6を吸着ヘッド7によって保持し、セラミックグリーンシート6に吸引口9,10のエッジが食い込みにくくなるようにする。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

カットテーブル上に、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートを位置決めし、 前記カットテーブルに対してカット刃を近接させることによって、前記マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出し、 その吸着面にそれぞれ負圧が与えられる複数の吸引口を分布させている吸着ヘッドを、切り出された前記セラミックグリーンシートに近接させることによって、前記セラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着し、次いで、 前記吸着ヘッドを前記カットテーブルから離隔させることによって、前記セラミックグリーンシートを、前記キャリアフィルムから剥離するとともに、前記吸着ヘッドによって保持した状態とする、 各工程を備える、セラミックグリーンシートの取扱方法であって、 前記セラミックグリーンシートを前記キャリアフィルムから剥離した後、前記吸引口に与えられる前記負圧を弱める工程を備え、前記剥離した後においては、前記負圧を弱めた状態で、切り出された前記セラミックグリーンシートが前記吸着ヘッドによって保持されていることを特徴とする、セラミックグリーンシートの取扱方法。

IPC (4件)：

B28B11/12 ,  H01G4/12 ,  H01G4/30 ,  H01G13/00

FI (4件)：

B28B11/12 ,  H01G4/12 364 ,  H01G4/30 311A ,  H01G13/00 351Z

Fターム (24件)：

4G055AA08 ,  4G055AA10 ,  4G055AC01 ,  4G055AC09 ,  4G055BA22 ,  4G055BA43 ,  4G055BB03 ,  4G055BB08 ,  4G055BB12 ,  5E001AB03 ,  5E001AD03 ,  5E001AH06 ,  5E001AJ02 ,  5E082AA01 ,  5E082AB03 ,  5E082BC40 ,  5E082EE35 ,  5E082FF05 ,  5E082FG26 ,  5E082FG46 ,  5E082FG54 ,  5E082MM13 ,  5E082MM22 ,  5E082MM24

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-254315