特許
J-GLOBAL ID：200903057109514117
投影露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007980
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215999
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 コンタクトホールパターンの投影露光時の焦点深度を拡大する。【構成】 投影光学系PLの瞳面中心の円形領域内に分布する結像光束LFaのみを透過する第1の空間フィルターPCM1と、その外側の輪帯状領域内に分布する結像光束LFbのみを透過する第2の空間フィルターPCM2の各々を交換して瞳epに配置する保持部材30を設ける。投影露光時は、第1の空間フィルターPCM1と第2の空間フィルターPCM2とを交互に瞳epに配置し、2つの結像光束を時間的にずらして(インコヒーレントな状態に変換して)ウェハW上に照射する。
請求項（抜粋）：
マスクに形成されたパターンの像を感応基板上に結像投影する投影光学系を備えた投影露光装置において、前記投影光学系中の前記マスクのパターンに対する光学的なフーリエ変換面、又はその近傍面に交互に配置される円形透過部、又は輪帯状透過部を備えた複数の空間フィルターと;前記複数の空間フィルターの各々を挿脱、又は交換して前記フーリエ変換面、又はその近傍面に配置する能動部材とを備えたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
