特許

J-GLOBAL ID：200903057115398021

粒子計測装置

発明者： 片川 浩 ,  中川 清治
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東京電子工業株式会社
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334269
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198577
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】 基板上に散布した粒子の散布状態を正確に測定できる粒子計測装置を提供する。【構成】 基板保持台41の上面にスペーサ粒子を散布した面を上面としてアレイ基板15を載置する。ライトガイド57を介してリング照明56からアレイ基板15の上面を照明し、反射光をズームレンズ55を介してCCDカメラ50にて撮像する。アレイ基板15の液晶駆動電極からの正反射が入射しないように、水平角ハンドル53により水平角テーブル49を回動して水平角θ1 を、仰角ハンドル44によりアーム43を回動して仰角θ2 を調整する。アレイ基板15に透光性がなくてもスペーサ粒子の散布状態が測定できる。CCDカメラ50およびリング照明56を任意の角度をなすように設定可能であり、CCDカメラ50にアレイ基板15からの正反射光の入射を防止できるため、ノイズを低減させて粒子の散布状態を正確に把握できる。

請求項（抜粋）：

一主面に粒子が散布された基板を前記粒子が散布された前記一主面を上側にして保持する基板保持手段と、前記基板の前記粒子が散布された一主面を照明する照明手段と、この照明手段で照明され前記基板の前記粒子が散布された一主面からの反射光を検出する光検出手段とを具備し、前記照明手段および前記光検出手段の少なくともいずれか一方は、前記基板の前記粒子が散布された一主面に対して垂直方向および水平方向に関して任意角度に設定可能であることを特徴とした粒子計測装置。

IPC (4件)：

G01N 15/00 ,  G01N 15/02 ,  G01N 21/47 ,  G02F 1/1339 500

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-276049
  
• 特開平1-217244
  
• 特開昭60-220940