特許

J-GLOBAL ID：200903057120456773

熱線遮断膜とその製造方法

発明者： 宮崎 正美 ,  安藤 英一
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324183
公開番号（公開出願番号）：特開平7-178866
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：

【要約】【構成】基体1上に酸化物膜2、金属膜3、酸化物膜6、とが交互に積層された(2n+1)層(n≧1)において、酸化物膜のうち少なくとも1層は、ZnO-Ga2 O3 ターゲットを無酸素雰囲気でスパッタして得られるGaを添加した酸化亜鉛膜である熱線遮断膜とその製造方法。【効果】無酸素雰囲気で製膜でき、金属バリア層が不要となるとともに、可視光透過率、熱線遮断性能、生産性が、著しく改善されている。

請求項（抜粋）：

基体上に酸化物膜、金属膜、酸化物膜、とが交互に積層された(2n+1)層(n≧1)からなる熱線遮断膜において、酸化物膜のうち少なくとも1層は、ZnO-Ga2 O3 ターゲットを無酸素雰囲気でスパッタして得られるGaを添加した酸化亜鉛膜であることを特徴とする熱線遮断膜。

IPC (8件)：

B32B 15/04 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  C01G 15/00 ,  C03C 17/36 ,  C08K 3/08 ,  C08K 3/22 ,  C23C 14/34