特許
J-GLOBAL ID：200903057120997693

真空排気装置

発明者：
深浦 裕治

深浦 裕治 について

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水島 浩一

水島 浩一 について

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矢作 充

矢作 充 について

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柴山 浩司

柴山 浩司 について

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相川 純一

相川 純一 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334587
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139055
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 補助ポンプの低消費電力化を図ることによって装置全体の効率の良い省エネ化を図ることができる真空排気装置を提供する。【解決手段】 ドライ真空ポンプ20と、ドライ真空ポンプ20の吐出側を大気へ解放する逆止弁28と、逆止弁28と並列的に配置されドライ真空ポンプ20の吐出側を排気する補助ポンプ30とを備えた真空排気装置であって、ドライ真空ポンプ20の吐出側圧力を検出する圧力センサ35の出力に基づいて、補助ポンプ30の運転状態を制御する制御装置33を設けることにより、ドライ真空ポンプ20の吐出側圧力が所定以下の場合には、補助ポンプ30の回転数を低減しあるいは補助ポンプ30の運転を停止させて、補助ポンプ30の消費電力を削減する。
請求項（抜粋）：
真空処理室に連絡するドライ真空ポンプと、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドライ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの吐出側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置であって、前記ドライ真空ポンプの吸入圧及び/又は吐出圧を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段の出力に基づいて前記補助ポンプの運転状態を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする真空排気装置。
IPC (2件)：
F04B 37/16 ,  F04B 49/06 341
FI (4件)：
F04B 37/16 A ,  F04B 37/16 D ,  F04B 37/16 E ,  F04B 49/06 341 J
Fターム (28件)：
3H045AA02 ,  3H045AA09 ,  3H045AA16 ,  3H045AA26 ,  3H045AA38 ,  3H045BA32 ,  3H045CA03 ,  3H045CA21 ,  3H045DA04 ,  3H045DA07 ,  3H045DA08 ,  3H045DA15 ,  3H045DA19 ,  3H045DA37 ,  3H045DA42 ,  3H045DA48 ,  3H045EA13 ,  3H045EA20 ,  3H045EA26 ,  3H045EA45 ,  3H076AA21 ,  3H076BB21 ,  3H076CC07 ,  3H076CC43 ,  3H076CC44 ,  3H076CC82 ,  3H076CC84 ,  3H076CC95
引用特許：
審査官引用 (11件)
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